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集成电路刻蚀效果三维显示及其关键技术研究
刻蚀 三维 面连接
2009/10/10
集成电路仿真是集成电路制造的重要辅助方法，刻蚀过程是集成电路制造的一个重要的过程。使用三角形面片对刻蚀过程进行建模，并推导出连接不同面的平面和曲面的计算公式。最后给出了刻蚀显示仿真结果。结果显示，刻蚀结果清晰，绘制速度快，占用资源少，可以满足实际的刻蚀显示要求。