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PMMA在LIGA技术中的应用           2007/7/28
期刊信息 篇名 PMMA在LIGA技术中的应用 语种 中文 撰写或编译 撰写 作者 陈永明,伊福廷,陈传福,彭良强,习复 第一作者单位 中国科学院化学研究所,中国科学院高能物理研究所 刊物名称 微细加工技术 页面 2001(4)36 出版日期 2001年 月 日 文章标识(ISSN) 相关项目 用于“毫微技术“的新型光致抗蚀剂的研究

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