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CO2,O2,CF4液体微滴喷射靶激光等离子体光源光谱
液体微滴喷射靶 激光等离子体光源 极紫外投影光刻
2009/5/11
基于软X射线辐射计量和极紫外投影光刻(EUVL)应用，研制了一台使用纳秒激光器的液体微滴喷射靶激光等离子体(LPP)极紫外光源。该光源由一个可连续控温的不锈钢电磁喷气阀门、YAG激光器和能同步控制喷气阀门和激光器的脉冲发生器组成。使用液氮作致冷剂，控温范围77～473 K。对于足够高的背景气压和低的阀门温度，当气体经过阀门脉冲式地喷入真空靶室内时，气体经过气-液相变碎裂成大量的液体微滴形成液...
近几十年来，温室效应导致地表温度明显上升，其所引起的全球气候变迁问题越来越受到人们的关注。CO2和CH4是大气中主要的两种人为温室气体，对它们进行连续的测量，获取它们长时间变化情况对大气环境科学具有重要的意义。目前国内监测这两种气体的主要手段是气相色谱方法。鉴于傅里叶变换红外光谱技术的优点，使用开放式长光程FTIR系统在北京地区对这两种气体进行了监测。该系统直接测量开放光路中的环境气体的大气吸收光...